ما هو رش مقاوم الضوء بالموجات فوق الصوتية؟

معدات الطلاء المقاومة للضوء بالموجات فوق الصوتية هي جهاز متخصص للطلاء المقاوم للضوء يعتمد على تقنية الانحلال بالموجات فوق الصوتية. يتم استخدامه بشكل أساسي في مجالات التصنيع الدقيقة مثل أشباه الموصلات والألواح والرقائق وMEMS والخلايا الكهروضوئية. فهو يعمل على تفتيت مقاوم الضوء إلى قطيرات متناهية الصغر بحجم النانو/الميكرون-، ورشها بشكل موحد على سطح الركائز مثل الرقائق والركائز الزجاجية، لتحل محل عمليات الطلاء الدوراني التقليدية -والطلاء بالغمس-.

 

ببساطة، إنها المعدات الأساسية في "مرحلة الطلاء المقاوم" لعملية الطباعة الحجرية الضوئية، وتتميز بمزايا مثل الدقة العالية، والتوحيد العالي، واستهلاك المقاومة المنخفض، وعدم وجود عيوب دوامية/حواف سميكة، مما يجعلها مناسبة لمتطلبات الطلاء المقاوم للضوء للعمليات المتقدمة.

 

المزايا التكنولوجية الأساسية(مقارنة بالطلاء الدوراني التقليدي/الطلاء بالغمس)

يعد الطلاء المقاوم للضوء خطوة حاسمة قبل -العملية في الطباعة الحجرية الضوئية، ويؤثر تجانس سماكة الفيلم بشكل مباشر على دقة الطباعة الحجرية الضوئية. المزايا الأساسية لمعدات الرش بالموجات فوق الصوتية تفوق بكثير تلك الخاصة بالعمليات التقليدية، وهو أيضًا السبب الرئيسي لاعتمادها على نطاق واسع في عمليات التصنيع المتقدمة.

 

1. تجانس الطلاء العالي جدًا-:توحيد سمك الفيلم أقل من أو يساوي ±1%، مما يزيل "الحواف السميكة والمراكز المقعرة" للطلاء الدوراني، وهو مناسب لمتطلبات الطباعة الحجرية الضوئية للعمليات المتقدمة مثل 7 نانومتر/5 نانومتر؛

 

2. استهلاك مقاوم الضوء منخفض للغاية:يتميز الطلاء الدوراني بمعدل استخدام لاستهلاك مقاوم الضوء يبلغ 10~20% فقط، بينما يمكن أن يصل الرش بالموجات فوق الصوتية إلى 80~95%، مما يقلل بشكل كبير من تكلفة مقاوم الضوء (تكلفة استهلاكية عالية-)؛

 

3. نطاق سماكة الفيلم الواسع الذي يمكن التحكم فيه:قادرة على طلاء أغشية رقيقة من 10 نانومتر إلى 100 ميكرومتر، ومناسبة لكل من طبقات مقاومة الضوء الرقيقة والسميكة للغاية (على سبيل المثال، الطباعة الحجرية الضوئية للتغليف، الطباعة الحجرية الضوئية ذات الفتحات العميقة MEMS)؛

 

4. لا ضرر الإجهاد الميكانيكي:لا توجد قوة طرد مركزي أو دوران عالي السرعة للركيزة، مما يؤدي إلى تجنب تشوه وتشقق الرقاقة/الركيزة، وهو مناسب للركائز الهشة (على سبيل المثال،-الرقاقات الرقيقة جدًا، والركائز المرنة)؛

 

قابلة للتكيف مع ركائز معقدة:قابلة للتكيف مع الركائز المعقدة: يمكنها طلاء الركائز غير المستوية-والثقوب العميقة/الركائز المحززة والركائز ذات المساحة-الكبيرة والأشكال غير المنتظمة التي لا يمكن معالجتها عن طريق الطلاء الدوراني

 

صديقة للبيئة وخالية من التلوث-:استهلاك منخفض للغراء، حجم سائل نفايات العادم منخفض للغاية، لا يتناثر رذاذ الغراء كما هو الحال في الطلاء الدوراني، مما يلبي متطلبات الإنتاج النظيف.