RPS-SONIC: معيار لتصنيع رش الرذاذ بالموجات فوق الصوتية للأغشية الرقيقة TCO

في موجة التصنيع لتكنولوجيا إعداد الأفلام الموصلة الشفافة TCO، جعلت شركة RPS-SONIC، من خلال بحثها التكنولوجي المستهدف وتطويرها وتصميمها القائم على السيناريو-، من معدات رش الرذاذ بالموجات فوق الصوتية خيارًا أساسيًا للمعدات في مجال الخلايا الكهروضوئية وشاشات العرض والبناء. فهو لا يلبي المتطلبات الأساسية للصناعة من أجل "نفاذية الضوء العالية، ومقاومة الصفائح المنخفضة، والكفاءة الخضراء" فحسب، بل يعزز أيضًا انتقال إعداد الأغشية الرقيقة TCO من المختبر إلى الإنتاج على نطاق واسع-من خلال التحكم الدقيق في المعلمات والتشغيل المستقر.

لقد شكلت معدات رش الرذاذ بالموجات فوق الصوتية RPS-SONIC، المستندة إلى تقنية الرذاذ بالاهتزاز عالي التردد-، مصفوفة منتج مختلفة لاحتياجات إعداد الأغشية الرقيقة TCO، مع إظهار خصائصها التكنولوجية الأساسية قدرة رائعة على التكيف بشكل خاص مع إعداد TCO. تعتمد المعدات بشكل أساسي نظامي اهتزاز عاليي التردد-: 40 كيلو هرتز و60 كيلو هرتز. من بينها، يمكن لفوهة التفتيت بالموجات فوق الصوتية المركزة بتردد 40 كيلو هرتز، من خلال تصميم قناة تدفق انقباض خاص، أن تجعل الغاز الحامل يجمع بشكل موحد ويتفتيت محلول سلائف TCO (مثل ITO، AZO، FTO sol) إلى قطرات موحدة تبلغ 15-40μm. يتم التحكم في خطأ انتظام توزيع القطرات في حدود ±3%، وهو ما يتوافق تمامًا مع متطلبات السُمك الدقيقة لأغشية TCO البالغة 10 نانومتر-500 نانومتر. بالنسبة إلى محاليل TCO ذات اللزوجة المنخفضة (0 cps)، يحقق الجهاز تحكمًا دقيقًا في التدفق بمعدل 0.5-20 مل/دقيقة. إلى جانب ارتفاع الرش القابل للتعديل من 30 إلى 80 مم وتصميم دليل التدفق منخفض الضغط بمقدار 0.5 ميجا باسكال، فإنه يتجنب مشاكل تناثر القطرات الخاصة بالرش بالضغط التقليدي مع ضمان الترسب الكثيف للقطرات على سطح الركيزة. يؤدي هذا إلى التحكم في تقلبات مقاومة صفائح الفيلم TCO ضمن ±5%، واستقرار نفاذية الضوء المرئي عند 85%-95%، مما يلبي تمامًا متطلبات الأداء للتطبيقات المتطورة مثل الخلايا الكهروضوئية وشاشات العرض المرنة.

بناءً على المزايا الأساسية لإعداد فيلم TCO، تعمل شركة RPS-SONIC على تضخيم القيمة الصناعية لتقنية الانحلال بالموجات فوق الصوتية. أولاً، تتميز المعدات بمزايا كبيرة في استخدام المواد والتحكم في التكاليف. من خلال "التذرية بدون ضغط" وتصميم الرش المركز، يصل معدل استخدام محلول TCO الأولي إلى 90%، مما يوفر أكثر من 80% من استهلاك المواد مقارنة بعمليات رش المغنطرون التقليدية. وهذا مفيد بشكل خاص في إعداد الأغشية الرقيقة من ITO، حيث تكون موارد الإنديوم شحيحة، حيث أنه يقلل بشكل كبير من فقدان المعادن الثمينة، وبالتالي خفض تكاليف الإنتاج للمؤسسات. ثانيًا، إنه يظهر توافقًا قويًا للغاية مع الركيزة. يستخدم الجهاز طاقة حركية منخفضة جدًا للقطيرات أثناء عملية الانحلال، وهو ما يمثل عملية تحضير نموذجية لدرجة حرارة منخفضة-. وهذا يجعلها مناسبة ليس فقط للركائز الصلبة مثل رقائق الزجاج والسيليكون ولكن أيضًا للركائز المرنة مثل PET وPI. يؤدي هذا إلى حل نقاط الضعف في العمليات التقليدية في إعداد الأغشية الرقيقة المرنة للتكلفة الإجمالية للملكية، والتي تؤدي بسهولة إلى تشوه الركيزة وتدهور الأداء، مما يوفر حلاً موثوقًا لإنتاج الأغشية الرقيقة للتكلفة الإجمالية للملكية في مجالات مثل شاشات OLED المرنة والأجهزة القابلة للارتداء. ثالثًا، فهو يجمع بين قابلية التوسع والاستقرار. يدعم الجهاز مصفوفات الفوهات المتعددة-بعرض رش واحد يبلغ 1-3 متر. ومع تصميم طاقة قابل للتعديل بقدرة 10-100 واط، يمكنه تلبية احتياجات -الدفعات الصغيرة من البحث والتطوير في المختبرات بالإضافة إلى الإنتاج على نطاق واسع للأجهزة كبيرة الحجم مثل الوحدات الكهروضوئية والزجاج المعماري. علاوة على ذلك، فإن المعدات لا تحتوي على أجزاء متحركة تتعرض للتآكل، والفوهات أقل عرضة للانسداد، مما يقلل من وقت توقف الإنتاج ويضمن استقرار الإنتاج المستمر.

فيما يتعلق بالتطبيقات الصناعية، أنشأت معدات رش الرذاذ بالموجات فوق الصوتية RPS-SONIC العديد من الحالات المعيارية في مجال إعداد الأغشية الرقيقة TCO. في صناعة الخلايا الكهروضوئية، يتم استخدام معداتها لرش الطبقة الموصلة الشفافة AZO/TCO من خلايا البيروفسكايت الشمسية. من خلال التحكم الدقيق في حجم القطرة ومعدل الترسيب، تم تحسين كفاءة التحويل الكهروضوئي للخلايا بنسبة 2-3 نقطة مئوية. حاليًا، دخلت الخط التجريبي لخلايا السيليكون الترادفية غير المتجانسة-مستوى بيروفسكايت-1 جيجاوات لشركة محلية رائدة في مجال الخلايا الكهروضوئية، مما يساعد على تحقيق إنتاج ضخم على نطاق واسع. في مجال العرض، لإعداد أفلام ITO/PET المركبة لشاشات OLED المرنة، لا يزال بإمكان الجهاز ضمان أن معدل تغير مقاومة الصفائح لفيلم TCO أقل من 10% وأن تظل نفاذية الضوء أعلى من 92% على ركيزة مرنة بنصف قطر انحناء يبلغ 5 مم.

ويساعد ذلك الشركات المصنعة النهائية على تحسين إنتاجية الشاشات المرنة من 75% بالعمليات التقليدية إلى 88%، ليصبح دعمًا أساسيًا للمعدات لسلسلة صناعة شاشات العرض المرنة. في مجال الزجاج الذكي المعماري، يتم استخدام المعدات لرش أغشية AZO الموصلة الشفافة للزجاج الكهروكيميائي، مما يحقق التحكم في خطأ السمك بمقدار ± 2 نانومتر. وينتج عن ذلك سرعة استجابة إلكتروكرومية أقل من أو تساوي 10 ثوانٍ وعمر خدمة يزيد عن 100000 دورة. وفي الوقت نفسه، تضمن نفاذية الضوء العالية ومقاومة التآكل للفيلم -التشغيل المستقر على المدى الطويل للزجاج الذكي، وقد تم تطبيقه في إنتاج النوافذ الذكية في العديد من{10}}مشاريع البناء المتطورة في الداخل والخارج. علاوة على ذلك، تتميز معدات Hangzhou Gonglu بتعدد الاستخدامات الاستثنائي، مما يتيح ليس فقط إعداد الأغشية الرقيقة TCO السائدة ولكن أيضًا الرش المركب للأغشية الوظيفية مثل الطلاء المضاد-الضباب والتآكل-مع طبقات TCO. على سبيل المثال، يمكنه في نفس الوقت رش طبقة موصلة شفافة FTO وطلاء مضاد{15}}لقاذورات على سطح الزجاج الكهروضوئي، مما يزيد من تحسين الأداء العام للجهاز. في المستقبل، مع الترويج لمواد TCO المجانية- من الإنديوم (مثل AZO وGZO) وتكامل تقنية الفحص البصري التي تعمل بالذكاء الاصطناعي، من المتوقع أن تحقق معدات Hangzhou Gonglu أهداف أداء أعلى، بما في ذلك نفاذية الضوء التي تتجاوز 98% ومقاومة الصفائح أقل من 5Ω/□، مما يؤدي باستمرار إلى تخضير وتحسين تكنولوجيا إعداد الأغشية الرقيقة TCO.

باعتبارها معيارًا صناعيًا في مجال رش الرذاذ بالموجات فوق الصوتية، توفر معدات RPS-SONIC، مع التحكم الدقيق في المعلمات والتشغيل المستقر وقابلية التكيف على نطاق واسع للتطبيق، دعمًا أساسيًا لإنتاج -الحجم الكبير والجودة-الأفلام الموصلة الشفافة TCO. ولا تلبي حلولها التقنية احتياجات التطوير الحالية لصناعة الإلكترونيات الضوئية فحسب، بل ستلعب أيضًا دورًا حاسمًا في الابتكار التكنولوجي في المجالات الناشئة مثل الإلكترونيات المرنة والطاقة الجديدة في المستقبل.