هل سبق لك استخدام الرش بالموجات فوق الصوتية في صناعة مقاوم الضوء؟

التطبيق الأساسي لرش الانحلال بالموجات فوق الصوتية في صناعة مقاوم الضوء هو طلاء مقاوم الضوء بدقة عالية، وتوحيد عالي، وتغطية عالية الخطوة. إنها جيدة بشكل خاص في حل مشكلات طلاء الهياكل المجهرية ثلاثية الأبعاد، ونسب العرض إلى الارتفاع العالية، والركائز الكبيرة/غير المنتظمة التي يصعب التعامل معها بواسطة الطلاء الدوراني التقليدي، مع تحسين استخدام المواد وإنتاجيتها بشكل كبير.

1. طلاء رقاقة أشباه الموصلات (التطبيقات السائدة)

Planar Wafer Coating: Used for 12-inch and larger wafers, achieving ultra-thin, uniform photoresist layers (thickness 50–500 nm), with thickness error controllable within ±0.3–0.4 μm and uniformity >95%، مما أدى إلى تحسين دقة التعرض وإنتاجية الرقاقة بشكل ملحوظ.

طلاء الرقاقة ذات البنية المعقدة: استهداف الخنادق العميقة، وTSV، والهياكل ذات نسبة العرض إلى الارتفاع العالية، وحل مشكلات الطلاء الدوراني مثل تراكم الحواف، ومقاومة القاع المفقودة، وتأثيرات التظليل، وتحقيق تغطية موحدة على الجدران الجانبية والجزء السفلي، وضمان دقة النقش/زرع الأيونات.

2. MEMS وطلاء جهاز البنية الدقيقة

طلاء الأسطح المورفولوجية المعقدة ثلاثية الأبعاد مثل رقائق MEMS ورقائق الموائع الدقيقة وأجهزة الاستشعار والمرايا الدقيقة، مما يوفر تغطية ممتازة للخطوات، ويزيل الزوايا والفقاعات الميتة، ويحسن موثوقية الجهاز.

ركائز متخصصة وطلاء إلكتروني مرن

طلاء ركائز غير السيليكون مثل-الزجاج والسيراميك والمعادن والركائز المرنة (على سبيل المثال، PI وPET)، ومناسب للأجزاء غير المنتظمة/الكبيرة الحجم-/الهشة، لتجنب مخاطر التجزئة الناجمة عن-الطرد المركزي عالي السرعة أثناء الطلاء بالدوران.

طلاء الطبقات المقاومة للضوء/الوظيفية على ركائز مرنة/منحنية مثل OLEDs المرنة والخلايا الشمسية البيروفسكايت.

البحث والتطوير والنماذج-الأولية الصغيرة

البحث والتطوير المعملي، والتحقق من المواد الجديدة، والنماذج الأولية للدفعات الصغيرة-: التغيير السريع، والتحكم الدقيق في سماكة الفيلم، وانخفاض استهلاك المواد، وهو ما يناسب تطوير تركيبة مقاومة الضوء وتكرار العملية.

عملية هجينة (طلاء دوار + رش بالموجات فوق الصوتية)

أولاً، يعمل الرش بالموجات فوق الصوتية على تشكيل طبقة أساسية موحدة، ثم-يؤدي الطلاء الدوراني عالي السرعة إلى توحيد المادة اللاصقة، مما يوازن بين التوحيد وتغطية الخطوات وكفاءة الإنتاج، وهو ما يناسب العمليات المتقدمة.

معلمات العملية النموذجية (مرجع)

●تردد الانحلال: 20-120 كيلو هرتز (يستخدم 100 كيلو هرتز بشكل شائع)

●حجم جسيمات الانحلال: 0.5–50 ميكرومتر (مستوى دون الميكرون)

●نطاق سمك الفيلم: 50 نانومتر - 5 ميكرومتر (يستخدم 50 - 500 نانومتر بشكل شائع للطلاء الدقيق)

● تجانس السُمك: ±0.3–0.5 ميكرومتر (رقاقة مقاس 12 بوصة)

●Material Utilization: >90%